Александрова, Лебедев, Мараева: Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки

Аннотация к книге "Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки"

Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности.
Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».